光路的检修与维护
光路调整的先决条件是：确保直流稳定电源、调制光源头、光纤、光栅单色仪、光电转换放大器、光学膜厚仪及各专用电缆的完好和正确接入。特别是光电转换放大器、光学膜厚测量仪的接地点，必须单独归至主机接点牢固接地。
光学镀膜设备的清洗
设备使用一个星期后(三班)，因镀料除镀在工件表面 外，亦因无定向性而工作室 内的衬板上镀料，并越镀越厚，该层膜厚因组织、繞疏松，吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时，应对工作室及衬板进行清洗，如不必要拆落来的部件，可用砂纸打磨干净，衬板可浸泡在氢氟酸水溶液里，氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。
注：衬板必须烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的所有灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。最后安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。
因使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。
