相较于干雾过氧化氢， ClO2 的毒性较强，对于材料的相容性较差.
二氧化氯是由氯气容器生成,ClO2 是可见, 黄绿色气体，气化速度很快
各类型灭菌方式比较-甲醛使用现状
剧毒且被归类为‘Class A’ 致癌和导致细胞变异的物质
气体是由甲醛溶液或福马林加热形成
作用慢，需要长蒸熏时间
结晶状残留物
未有出版物证明灭菌前后的效果有效
蒸熏时人员必须撤离(停机时间长)
易燃
十分难验证灭菌程序
欧菲姆干雾灭菌设备原理：
干雾灭菌系统是使用电动马达，利用文图里原理高速吸入空气，在喷头内给空气足够大的动能。让气体高速与消毒液碰撞产生直径小于5微米的干雾颗粒。让消毒液以干雾颗粒的形式弥散在需要灭菌的无菌洁净区，从而达到彻底灭菌效果，可替代熏蒸。这种原理，世人皆知，但是需要解决：瞬间提供空气足够高的动能、散热降噪、设备空间占用三大问题。而欧菲姆独有的硼钴合金自带润滑功能的器械喷头设计，将大型干雾设备的扩大化的同时，极大的降低了空间占用，解决了散热，降噪的问题。这些技术无论如何都是的。
干雾有如下的性质：
－干雾滴不会聚合在一起产生大的液滴；不会产生水凝，造成有效成分降低
－干雾滴在表面接触后会反弹，而不会破裂湿润表面；更有效进行空间灭菌
－干雾滴不会沉降并且进行无规则运动（布朗运动原理）；易于到达车间各个位置
灭菌原理
过氧化氢的作用原理是通过复杂的化学反应解离具有高活性的羟基，破坏细胞膜。
过氧化氢因具有氧化还原作用而具有杀菌效果,特别对厌氧芽孢杆菌杀灭效果好。
技术特点
极大的降低企业影响成本(停机时间短)
低温灭菌工艺（4-80°C）
在干雾灭菌程序完成后，残留物很少（不需再次清洁）
灭菌后无有毒副产品(健康& 安全)
干雾过氧化氢灭菌工艺十分容易验证(符合法规要求, 工艺控制)
环保(健康& 安全)
对高效过滤器HEPA 穿透性好(玻璃纤维)
灭菌所需时间短2-3小时
对于其他材料无腐蚀性（有四十多种材料兼容性报告）
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