中文名:气体动态混合设备
英文名:SSGM-3
特点:1、复现性优良,比例稳定
2、为纯机器结构,使用寿命长,安全可靠
3、设计紧凑,带PID独立集成控制器,控制快速又稳定;
4、产品后期的可扩展性和延展性强
总结:广泛应用于SPUTTER磁控溅射台、等离子刻蚀、石油化工、高校实验室、科研单位、航空航天、光伏行业、半导体行业、真空镀膜行业、光电产业到工业工具的表面镀膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、离子注入、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。
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