技术指标
真 空 度：0～-92kPa
精 度：0.1%FS
真空室有效尺寸：
Φ270mm×220 mm (H) （标配）
Φ360mm×590 mm (H) （选购）
Φ460mm×330 mm (H) （选购）
注：其他尺寸可定制。
气源压力：不大于1.1MPa (气源用户自备)
气源接口：Φ6mm
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