技术指标
测量范围：（薄膜）0.01～6500 cm3/m2·d（常规）
0.07～63000cm3/m2·d（可选）
（容器）0.0001~62 cm3/pkg·d（常规）
分 辨 率：（薄膜）0.001 cm3/m2·d
（容器） 0.00001 cm3/m2·d
控温范围：5℃～95℃
控温精度：±0.1℃
湿腔湿度：0%RH、35%RH～90%RH、RH
控湿精度：±1%RH
试样数量：3 件，各自独立
测试面积：48cm2
试样尺寸：（薄膜）≥150 mm×94mm或圆形试样
（容器） ≤Ф120mm * 400mm（H）
试样厚度：≤3mm
载 气：99.999%高纯氮气 （气源用户自备）
载气流量：0~200ml/min
接口尺寸：1/8英寸金属管
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