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PS-7系列 半导体材料气体检测部

 
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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 福建 厦门市
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-07-21 13:40
浏览次数: 731
 
公司基本资料信息
详细说明

PS-7系列 半导体材料气体检测部
半导体材料气体检测部

特点

带有气体采样流量自动控制功能

LCD显示,现场状态一目了然

实现小型、轻量化

可简单地更换传感器和采样气路

带有防止传感器单元错误插入的功能

可以设定多样的维护模式

组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等

实现了用PDA读取数据

符合CE规格,SEMI规格


规格

型号

PS-7

标准型

附带转换器组件型

检测原理

•定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式
•热分解+定电位电解式

采样方式

泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制)

采样配管

特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内

气体浓度显示

液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图

报警接点

•气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示
•流量降低报警 堵塞指示显示:流量显示为低速运转 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
•传感器故障报警/传感器误插入报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 CONV.显示

外部输出

气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位)

适合电缆线

控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露)

使用电源

DC24V±10%

消耗电力

约7w

尺寸

•W62xH124xD143mm(除去突起物)
•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)

重量

约1.0kg

安装方法

壁挂式

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