应用领域:
(1)、环境样品分析,包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析
(2)、半导体材料分析
(3)、玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析
(4)、地质学研究
(5)、生物食品及医药临床研究
(6)、核材料分析
(7)、石油化工样品分析
(8)、法医应用与研究
近,与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。
二手安捷伦质谱仪ICP-MS 7500
分析特性:
(1)、可快速同时检测周期表上元素
(2)、的检出限(低至ppq级)
(3)、分析效益/成本比
(4)、宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
(5)、谱线简单、干扰,准确度和精密度好
(6)、需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分钟/样品)
(7)、检测模式灵活多样
(8)、半导体工业常用材料中超痕量污染物分析
固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等
液体:超纯水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体:SiH4;TE0S;NF3;N2等
(9)、Agilent ICP-MS 7500 可直接分析样品。
对其中一些样品,其他方法无法得到满意的结果,高功率屏蔽矩冷等离子体技术是的分析方法。
强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
常用溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等
高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂——丙酮、甲醇等
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