| 特点： | | ●工业半导体净化室的理想检测仪器 | | ●更适于低浓度气体检测（PPM级） | | ●抗干扰性强 | | ●盒式带取放简便 | | ●盒带剩余量显示 | | | | | 规格： | | 类 型 | 台式，可搬运型 | | 检测原理 | 光电光度学原理用于盒式纸带 | | 检测盒带 | VHS型可更换盒式带电 | | 电源和耗电量 | AC220V 50/60Hz
检测时：35VA 供带时：60VA | | 尺寸.重量 | 275(W)×220(H)×370(D)mm 约12Kg | | | | |
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| 检测气体名称 |
| 检测气体 | TLV值 | 检测范围 | 解析值 | | 磷 PH4 | 300ppb | 0--900ppb | 5 | | 四氢化硅 SiH4 | 5ppm | 0--15ppm | 0.25 | | 乙硼烷 B2H6 | 100ppb | 0--300ppb | 5 | | 胂 AsH3 | 50ppb | 0--150ppb | 1 | | 乙硅烷 SiH6 | 5ppm | 0--10ppm | 0.1 | | 硫化氢 HS2 | 10ppm | 0--100ppm | 1 | | 光气 COCl2 | 100ppb | 0--300ppb | 2 | | 氯气 Cl2 | 0.5ppm | 0--100ppb | 1 | | 硒化氢 H2Se | 50ppb | 0--300ppb | 2 | |
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