扫描电子显微镜JSM-6510日本电子（JEOL）_显微镜_通用设备_仪器试剂_供应

SEM扫描电子显微镜 JSM-6510系列
JSM-6510是一款高性能低价格的扫描电子显微镜，分辨率可达3.0nm。可按用户要求定做的操作接口便于用户直观操作仪器。Smile Shot™软件保证得到电子光学参数。JSM-6510的LGS型大样品台和GS型普通样品台可分别装6英寸直径和32mm直径的样品。

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主要特点

强大的电子光学系统，简单操作

Ⅰ

设计的圆锥型物镜，保证3nm的分辨率。很容易得到高质量照片。

Ⅱ

广域扫描线圈可以得到5倍的放大倍数从而提高观察样品的效率。

Ⅲ

优秀的电子光学系统可以在大束流下形成小束斑，有利于微区分析。

高分辨率

Ⅰ

JSM6510系列圆锥形物镜，在工作距离8mm时的分辨率为3nm，圆锥形物镜

的外形设计可以做到短工作距离情况下样品仍然可以大角度倾斜。

全自动电子枪

Ⅰ

JEOL开发的全自动电子枪能够产生极小电子束源，只要选择好加速电压，就可以进

行观察或成分分析。

Ⅱ

电子枪偏压是调节电子枪亮度的重要部件。JEOL的无缝自给加压系统能随着电压变

化随时调整偏压，使得无论选择哪个加速电压，都能得到亮度。

Ⅲ

JEOL独有的像散记忆功能能够自动纠正随加速电压或工作距离改变而产生的像散。

1KV

5KV

10KV

20KV

多图显示模式

Ⅰ

主显示区可以同时显示两幅实时图像，分别为二次电子像和背散射电子像，参考区

也可显示２幅实时图像，例如二次电子图像，背散射电子图像或ＣＣＤ相机图像。

Ⅱ

双实时显示模式可以用于不同信号图像的对比，用户可在观察表面形貌的同时了解

样品的成份分布情况。

Ⅲ

选用多种图像显示模式时，点击"PHOTO"按纽可同时获得并存储2或3幅全屏尺度图像。

简单易懂的操作接口及菜单

Ⅰ

操作接口简单，直观，默认的操作接口显示了常用的功能按钮，并以简单图文标

明，点击鼠标即可操作所有功能。

Ⅱ

实时量测，图片上的长度和角度等结构细节能在显示器上进行测量。

可变焦聚光镜修正

Ⅰ

做表面观察和元素分析等不同应用时，选择合适束流非常重要，一般是通过聚光镜

与物镜光阑来控制电子束流的。如果在调整束流过程中，焦点和观察区域位移变化

很小，调整起来会比较方便。JEOL独有的可变焦聚光镜可以保证这一点。

小束流

中等束流

大束流

全对中样品台

Ⅰ

当样品台倾斜时，全对中样品台可使图像位移和焦点变化。使用此样品台可多

方向观察粗糙表面样品，采用一些不同角度摄取的图片组成立体图片，可通过立体

图片观察深度。

低真空SEM

Ⅰ

低真空扫描电镜，除了包括高真空模式外，还包括低真空模式，在低真空模式下，

不导电样品以及容易放气的样品都可以直接观察。结合JEOL独有的冷冻干燥技术，

可在低真空模式下快速观察含水样品。

各类附件接口

Ⅰ

EDS（能谱）WDS（波谱）BEIW（背散射电子探头）SCU（冷台）SHIC（IC样品座）LVSE（低真空二次电子探头）等等

技术参数

放大倍数	5-300，000倍
分辨率	高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
电子枪	全自动，亦可手动调整
样品台	大全对中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度
灯丝	工厂预对中灯丝（钨）
图像模式	二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像
加速电压	5-30KV
聚光镜	可变焦聚光镜
物镜	锥形物镜
物镜光阑	3档，X-Y可细调
电位移	±50微米
自动功能	聚焦，亮度，衬度，消像散
样品	直径：150mm
样品交换	抽拉式样品台
真空系统	全自动扩散泵DP。分子泵TMP（选购）
操作系统	Windows XP

安装要求

电源	单相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 稳压范围10%以内（压降3.0KVA3%以内）
地线	独立地线一条，小于等于100欧
温度	20土5℃
湿度	小于等于60%
交流磁场	小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV）
地面振动	大于5Hz正玄波小于等于2μm（P-P）
占地	2000（W）2500（D）1800（H）mm
重量	325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV）
门宽	850mm以上

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