易受热损伤的样品，也能方便地制作出薄膜样品和截面样品。冷却保持时间长，有效地抑制了热损伤。
 | ★通过液氮制冷。 通过液氮制冷，减轻了离子照射时对样品造成的热损伤。 |
| ★冷却保持时间长 冷却保持时间长，大大减少了热损伤。 |  |
| 离子加速电压 | 1 ～ 8kV | |
| 倾斜角 | Up to 6°(0.1°/步) | |
| 离子束直径 | 500μm(FWHM) | |
| 研磨速率 | 5m/min (加速电压:8 kV, Si换算) | |
| 使用气体 | 氩气 | |
| 样品尺寸 | 2.8mm(长度)×0.5 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | |
| 样品冷却 | 样品架冷却温度 | -120℃ |
| 冷却到达时间 | 1小时 | |
| 冷却保持时间 | 8小时 | |
| 样品取出时间 | 30分钟 | |
| 压力测试 | 潘宁规 | |
| 主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | |
| CCD相机 | 内置 | |
| 尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg |
| 机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
| 液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
低温冷冻离子切片仪IB-09060CIS™
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