主要特点：
■2500片（156*156）/小时超大产能。
■采用第三代，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落。
■全自动补液技术。
■的硅片干燥前处理技术。
■成熟的硅片清洗工艺，多种先进技术集于一身。
■彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换
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