放大倍率6万倍
采用二次电子和背散射电子双重探测器
5KV~30KV加速电压选择,图像分辨路高
通过选配EDS可进行成分分析
冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析
高/低真空配置缩短前处理过程
CCD摄像头的安装可对载物台内部观察
Tilt(0~45)载物台配置(可选择)
技术参数:
分辨率 | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率 | 30~60,000 (有效放大倍率30,000) |
加速电压 | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
图像 | 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image * Multi Detector (SEI+BSEI) | |
Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
电子枪系统 | |
灯丝类型 | 预对中钨灯丝 |
偏压系统 | 自动偏压方式 |
电子枪校正 | 手动方式 |
透镜构成 | |
聚光镜 | 2段式磁线圈透镜 |
物镜 | 1段式磁线圈透镜 |
探测器类型 | E-T Detector |
载物台系统 | 3轴操控- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360° |
Image shift | X, Y Image Shift (100) |
样品尺寸 | 50mm in diameter, 20mm in height |
图像扫描速度 | 快速扫描 (Fast Scan): 320240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速扫描 (Slow Scan): 640480 (Scan time: 3 sec.) | |
图片模式1(Photo Mode 1): 1280960 (Scan time: 30sec.) | |
图片模式2(Photo Mode 2): 25601920 (Scan time: 60sec.) | |
自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节 |
图像存储方式 | BMP, JPEG, PNG |
数据显示 | 放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等 |
真空系统 | 全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode) (旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min (涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec 抽真空时间:2分钟以内 |
操控系统 | 鼠标和键盘 |
运行系统 | 电镜笔记本电脑 OS : Microsoft Window 7 CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version |
软件 | 图像文件打开,编辑,存储功能 长度,面积,角度等测量功能 设置数值初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等 |
体积 | 设备主机-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set |
重量 | 90kg |
设备环境 | 温度:15℃~30℃ 湿度:70% or less 电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
配置:
预对中钨灯丝 | 5 pcs/box |
载物台 | 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) | |
15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
15mm 90° Tilt (5pcs) | |
真空润滑油 | 1ea |
高度基准模块 | 1ea |
6角扳手 | 1set |
扫描电镜软件修复用CD | 1ea |
银胶(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳导电胶带 | 1roll |
剪刀 | 1ea |
洗耳球 | 1ea |
镊子 | 1ea |
工具箱 | 1ea |
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