无尘室（洁净室）根据洁净程度不同分很多等级
目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多，数字越小，洁净等级越高。
无尘室（洁净室）1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗 ；
无尘室（洁净室）100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗 ；
注意了：每个等级所管控的颗粒大小也不一样；
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室（洁净室）分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级；
如果无尘室（洁净室）的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
洁净度级别 粒径(um)
|
| 0.1 | 0.1 | 0.3 | 0.5 | 5.0 |
| 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | NA |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | NA |
| 100 | NA | 750 | 300 | 100 | NA |
| 1000 | NA | NA | NA | 1000 | 7 |
| 10000 | NA | NA | NA | 10000 | 70 |
| 100000 | NA | NA | NA | 100000 | 700 |
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