产品概述:
DFS4000是采用的微机电系统流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)。
DFS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。
DFS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围到50SLPM;可用于设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计;
- 支持多种连接方式,易于安装与使用;
- 传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量;
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高;
- 输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压;
- 零点稳定度高;
- 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性;
- 低功耗、低压损;
- 响应速度快;
产品技术参数:
性能参数 | DFS4003 | DFS4008 | 单位 | |
通 径 | 3 | 8 | mm | |
流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM | |
量程比 | 100:1 | | ||
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | ||
重复性 | 0.75 | % | ||
零点输出飘移 | ±30 | mV | ||
输出飘移 | 0.12 | %/oC | ||
响应时间 | 100 | ms | ||
工作电源 | 8~18Vdc,100mA | | ||
输出方式 | 线性,RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc | | ||
流量压损 | 100 | 600 | pa | |
工作压力 | 0.5 | MPa | ||
工作温度 | -10 ~ +55 | oC | ||
存储温度 | -20 ~ +65 | oC | ||
工作湿度 | <95%RH(无结冰、无凝露) | | ||
机械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 | | ||
校准方式 | 空气(或其他气体),20oC,101.325kPa | | ||
重量 | 57(带R1/4,BSPT1/4接口) 71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头) | g |
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