光谱共焦位移传感器可以实现对距离、 透明物体厚度和三维物体形貌等的精密测量。该仪器测量精度高,体积小,操作简单,携带方便。广泛应用于半导体、光伏、电子组件、汽车、玻璃面板、物流、食品等领域。
光谱共焦位移传感器主要由测量头、控制器、光纤组成。利用特定的彩色编码镜头使白光产生轴向色散,被测工件反射信号,经过光谱仪解析共焦光波信号,通过波长与位移转换曲线计算出工件位移测量值。
设备特点如下:
1、稳定性好;
2、适用多种形貌特征测量;
3、设备轻巧,便于携带或易于集成自动化测量应用;
4、操作简单,测量精度高;
光谱共焦位移传感器技术参数如下:
1)测量范围:±3mm(位移) 0.5-2mm (玻璃厚度)
2)工作距离:55mm
3)光斑大小:10μm(量程中心位置理论光斑直径);
4)线性度:±1μm(校准后满量程测量时误差值)
5)分辨率:0.05μm(测量中心零点平均10噪声大小程度);
6)倾角:±10°(对于漫反射工件倾斜角度可以达到 80°);
7)测头尺寸:Φ33*75mm;
8)测头重量:150g
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