| 离子泵 | |||||||
| 型号 | Vaclon plus 20 | Vaclon plus 40 | Vaclon plus 55 | Vaclon plus 75 | Vaclon plus 150 | Vaclon plus 300 | Vaclon plus 500 |
| 进气口 | CF35 | CF35 | CF63 | CF100 | CF100 | CF150 | CF150 |
| 型号 | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell | StarCell |
| 抽速 L/s （N 2） | 20 | 34 | 50 | 65 | 125 | 240 | 410 |
| 寿命 hour | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 | 80000 |
| 启动压强 mbar | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 | < 10 -2 |
| 烘烤温度℃ | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 | < 350 |
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