油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
特点：
※大抽速、大抽气量
※抗辐射、、快速循环.抗爆炸.
※高前级耐压
※高极限真空度
※返油量极低
※超常的使用寿命扩散泵（AX,HS,VHS,NHS型号）参数对照
| 型号 | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 |
| 抽速空气，L/s | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 3650 |
| 前级耐压Torr/mbar 没有负载 有负载 | 0.75/1.0 0.6/0.78 | 0.55/0.72 0.4/0.52 | 0.65/0.86 0.55/0.72 | 0.65/0.85 0.55/0.72 | 0.65/0.85 0.55/0.72 | 0.65/0.85 0.55/0.72 |
| 推荐前级泵抽速m3/hr | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 | 30/51 |
| 返油率mg/cm2/min 标准冷带 | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 |
| 启动时间（min） | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 | 15 |
| 电源 | 1ph,50/60Hz, 90/115/165/220V | 1ph,50/60Hz, 120/240V | 1ph,50/60Hz, 120/208/240V | 1ph,50/60Hz, 120/208/240V | 3ph,50/60Hz, 120208/240V | 3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
| 功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 4400 |
| 冷却水l/hr,15-26°C | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 0.4/80 |
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