产品说明： MPI-16坩埚控制仪是现有的灵活、功能、直观的控制器，利用内部安装的步进电动机和光学定位跟踪装置可分别实现控制上的期可靠性和精确度，同时，允许自动和手动两种模式来控制多槽离子源。主要特点： 1）支持4、5、6、8、10、12、16个窝眼和船型满槽坩埚 2）具有可变速率选择功能和多重旋转模式 3）安全互锁交替输出功能 4）结构紧凑便于安装 5）自带有可靠而精密的编译码器 6）带1/4 rack 遥控板
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