CDG025D电容薄膜规

SKY^® 电 容  膜 片 真 空 计

INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空机，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能，数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设点调整，抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。的传感器屏敝（技术）保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性，长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。优 点                  ◆   全刻度范围从100毫乇…1000乇    ◆   电源接通后的快速稳定性    ◆   暴露大气压后的快速恢复性    ◆   抗腐蚀性陶瓷传感监测器    ◆   的长期讯号稳定性    ◆   温度补偿    ◆   保护传感器防止污染    ◆   一键调零功能    ◆   宽范围电源    ◆   2个设点（选项）    ◆   RS232接口（选项）用  途               要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量:    ◆   用于刻蚀，CVD, PVD, ALD半导体制造设备    ◆   资料贮存和显示器制造设备    ◆   工业真空设备    ◆   常用高精度真空测量订 货 资 料         CDG025D，温度补偿型全刻度范围                              法兰型式

Torr	Pascal	Mbar	1/2”tube	DN 16 ISO-KF	DN 16 CF-R	8 VCR
1000	133322	1333	375-000	375-001	375-002	375-003
100	13332	133	376-000	376-001	376-002	376-003
10	1333	13.3	377-000	377-001	377-002	377-003
1	13.3	0.13	378-000	378-001	378-002	378-003
0.1	13.3	0.13	379-000	379-001	379-002	379-003

CDG025D, 温度补偿型，带2个设点和RS232接口全刻度范围                             法兰型式

Torr	Pascal	Mbar	1/2”tube	DN 16 ISO-KF	DN 16 CF-R	8 VCR
1000	133322	1333	375-300	375-301	375-302	375-303
-	110000	1100	375-500	375-501	375-502	375-503
200	26664	267	382-300	382-301	-	-
100	13332	133	376-300	376-301	376-302	376-303
-	10000	100	376-500	376-501	376-502	376-503
20	2666	26.7	-	-	-	-
10	1333	13.3	377-300	377-301	377-302	377-303
-	1000	10	377-500	377-501	377-502	377-503
1	133	1.3	378-300	378-301	378-302	378-303
-	100	1	378-500	378-501	378-502	378-503
0.25	33.3	0.33	385-300	385-301	385-302	385-303
0.1	13.3	0.13	379-300	379-301	379-302	379-303
-	10	0.1	319-500	379-501	379-502	379-503

粗体=标准产品其他法兰型式和全刻度范围，请提出要求

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