INFICON, 薄膜镀层控制技术的者，现在为您提供高生产价值和低拥有成本的先进仪器。 无论您需要控制产品的合格性，或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。
先进，实用的单层和多层镀膜速率控制用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1技术，提供可靠的模式跳跃防止功能，可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪，可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度，具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和极高的可靠性，可确保高的生产率。特 点■有单膜层和多膜层型号■ModelLock技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换，用于生产率■XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程，999个膜层，32个镀层，2个传感器和两个源■XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层，2个传感器和两个源■易阅读的TFT LCD图形显示器■为便于检索，可指定的和描述性的薄膜与过程名称■有以太网连接软件■单独运行（无需计算机）或用PC运行的Windows®软件选件■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见（限于XTC/2功能和指令组）技术规范
| 功能，参数，或技术规范 | XTC/3S单层膜 | XTC/3M多层膜 |
| 测量分辨的频率变化 | ＋0.05Hz | ＋0.05Hz |
| 测量区间 | 0.25秒 | 0.25秒 |
| 厚度和速率分辨/测量 | 0.06A,在工具/密度＝100 | 0.06A,在工具/密度＝100 |
| 基频＝6M Hz | 基频＝6M Hz | |
| 支持XTAL2转换 | 是 | 是 |
| 计算机通讯 | RS232标准,以太网TCP/IP选件 | RS232标准,以太网TCP/IP选件 |
| RS232波特率 | 115.2千波特 | 115.2千波特 |
| 继电器数 | 12标准, 无事例可指定 | 12标准, 事例可指定 |
| 可编程继电器功能数 | 1 | 1 |
| 每个继电器功能 | 1 | 1 |
| 继电器电压额定值 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 |
| 42V峰,在2.5安 | 42V峰,在2.5安 | |
| 输入数 | 8TTL, 24伏直流 | 8TTL, 24伏直流 |
| 可编程输入功能数 | 1, 无事例可指定 | 1, 事例指定 |
| 记入仪输入数 | 1 | 1 |
| 手动电源/手持控制器 | 是 | 是 |
| 排风扇 | 无 | 无 |
| 测试模式 | 是 | 是 |
| 挡光器延迟 | 是 | 是 |
| 次级工具 | 是 | 是 |
| 允许相移频率 | 1.0 M Hz | 1.0 M Hz |
| 机箱尺寸 | 1/2机架,2U高度 | 1/2机架,2U高度 |
| 速率和膜厚显示分辨 | 0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从 100至999A/秒 | 0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从 100至999A/秒 |
| 显示膜厚分辨=1A | 显示膜厚分辨=1A | |
| 通过输入选择镀层 | 是 | 否 |
| 用户指导语言 | 英文，中文 | 英文，中文 |
| 控制环 | PID | PID |
| 数据登录 | 是 | 是 |
| 质量和稳定性功能 | 是 | 是 |
| 样品和保持 | 是 | 是 |
| 坩埚选择 | 是 | 是 |
| 坩埚反馈输入 | 是 | 是 |
| 选择控制电压极性 | 是，+/-2.5，5，10伏 | 是，+/-2.5，5，10伏 |
| 15-位分辨率 | 15-位分辨率 | |
| 程序锁定码 | 是 | 是 |
| 用户标签过程/镀层 | 否 | 是 |
| XTC/2 RS232通讯兼容性 | 是（有限的） | 是（有限的） |
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