PEV-1型压电阀主要用于精确控制气体流量，主要领域包括：磁控溅射、光学镀膜、太阳能电池、ITO、等离子体刻蚀等领域。
产品特点：
■ 快速响应
■ 精确控制
■ 性能稳定
■ 连接简单 只须Swagelok 接头连接
■ 接线座是镀银
适用对象： 磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO
技术参数：
■ 流量：0—500 scmm
■ 响应时间：2 毫秒
■ 漏率：1×10-9sml/sec
■ 电压：0—100VCD
■ 温度范围:10℃至60℃
■ 入口压强:50PSI
应用：自动压强控制仪+压电阀，自动压强控制仪可选配北京清华大学申老师的，性价比高
优势：
■ 性价比好。
■ 服务好，可替换，维修便捷
■ 国内稳定性差：驱动电压不稳，有时会高电压冲击
■ 响应时间快
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