测定范围 加速度（ACC）：0.02-200M/S 2RMS
速度（VEL）：0.02-200mm/s RMS
位移（DISP）：2-2000μm EQ p-p
周波数范围：加速度（ACC）：3Hz-10kHz
速度（VEL）：10Hz-1KHz
位移（DISP）：10Hz-400Hz
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