无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘车间，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
（1）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱；
（2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂；
（3）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走；
（5）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器；
（6）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始；
（7）架空地板下也要吸尘及擦拭；
（8）使用已获批准的洁净室专用去污剂；
（9）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦；
（10）清洁洁净室的地面应使用专用拖把；
（11）所有的门都需要检查并擦干;
（12）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布。
无尘车间洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。
无尘车间内之污染来源，经测试分析结果，作业人员占约 80%，作业人员进出无尘车间时无尘车间的污染源可分为外污染及内污染源。
外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、以及一般性气体如 N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括生产设备、工作人员、工具、加工制造、隔间材料、工作台、 包装材料等。所无尘布厂家以无尘车间工作不但要使用无尘材料，如无尘布，无尘服等，还要加强对进出人员的管理，方能发挥无尘车间应有的作用。
1.无尘车间适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘车间前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。
2. 室内发尘之防止：隔墙板、地板等无尘车间材料的适当选用、制造设备的发尘抑制、生产 自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘车间专用器等。
3. 室内发尘之不积留：墙壁体应光滑无死角、无尘车间需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
4.发生尘埃立即排除。
因此对于作业人员之数目、 行动状态、进出规则之制定与执行，提高无尘车间内作业人之洁净度意识、反复教育。
1.进入无尘车间之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态。
2.作业人员进入无尘车间数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依无尘车间进出标准流程进出无尘车间。
1.物料及设备之进出也必须经过洁净程序，方不至于影响无尘车间之洁净度。
2.工作人员于其室内清洁设备或物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无尘纸或不会脱落织毛之无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入 3~5％浓度的 IPA 或丙酮化学品，以增强去污能力，由于 IPA 及丙酮具挥发性，故此房间之排气效果须特别考虑。
3.无尘车间内用品除了进出无尘车间用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外， 尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、 吸尘器等。洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物 之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、 着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。无尘车间用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件。
在线粒子监测系统整体解决方案，可以实现通过在线尘粒计数装置对相关参数进行连续的监测，实现实时数据的采集，预警及报警指示器告知，以此来指导现场或远程操作人员对于发生的事件及时采取措施，同时，通过对实时采集数据的记录存储和回顾审核，用于批生产的放行及厂房设施的回顾。
