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GB/T 3163-2007 真空技术 术语

2021-07-22 23830 300k 0
GB/T 3163-2007 真空技术 术语

本标准代替GB/T 3163-1993
本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。


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