GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。
本标准被 GB/T 15909-2009电子工业用气体 硅烷(SiH) 代替
| GB/T 15909-2009 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。
本标准被 GB/T 15909-2009电子工业用气体 硅烷(SiH) 代替
| GB/T 15909-2009 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
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